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发布时间:2020-08-18 19:24:29
广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修中心;
1912年,德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵,它的转子直径为50mm,转子上切有8个尺寸不同的槽,转速为12 000r/min,抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致,但由于故障多很快被淘汰,未能普及。
1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(***成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
原因:附近有光照或其他热源
解决方法:避免光照或热源
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?
原因:冷却不良,负载太大
解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修中心;
振动频率为60%-100%工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损
处理方法:检查、调整或更换密封;
振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合
处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;
分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态,相对较紧密封效果会好些,但过紧也是***的。一是引起静环密封因过度变形,影响密封效果;二是如果静环材质是石墨,一般较脆,过度受力极易引起碎裂;三是安装、拆卸困难,极易损坏静环。
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