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发布时间:2020-08-18 06:24:42
广州帕纳光电科技有限公司----瓦里安分子泵维修;
当M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作;
打开分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀;
.每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏;
当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵;升级完成的安捷伦生产流程管理系统,和新增的大量自动化生产装配工艺和设备,保证了产品的一致性,和质量的稳定性。
工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
20世纪70年代末开始,人们对真空装置提出更高的要求,既除了能获得高真空之外,还需要能够在排气之后导入各种各样的气体,并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求,涡轮分子泵逐渐推广普及。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成,这使转子的转速得到进一步提高。
在高真空或超高真空范围的应用中,比如分析仪器中的质谱/光谱、真空镀膜、真空冶金、半导体技术等,分子泵经常用于获得所需真空度,瓦里安分子泵维修高品质的无油隔膜泵可以获得分子泵(带分子拖动级)所需的前置真空,能够明显地改善所获得真空的清洁度,在许多情况下,这种无油的清洁真空是必须的。原因:附近有光照或其他热源解决方法:避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑。
3、选择系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。
5、分子泵入口应装设防护网,以避免***进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
后感谢李同学对此知识点的总结,喜欢的朋友麻烦点个订阅哟!
电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
锁母锁紧过度只会导致轴间垫过早失效,相反适度锁紧锁母,使轴间垫始终保持一定的压缩弹性,在运转中锁母会自动适时锁紧,使轴间始终处于良好的密封状态。
新的比旧的好。相对而言,使用新机械密封的效果好于旧的,但新机械密封的质量或材质选择不当时,配合尺寸误差较大会影响密封效果;二是增大了动环轴向调整、移动的阻力,在工况变化频繁时无法适时进行调整。在聚合性和渗透性介质中,静环如无过度磨损,还是不更换为好。因为静环在静环座中长时间处于静止状态,使聚合物和杂质沉积为一体,起到了较好的密封作用。
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