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这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。再比如，发现水泵剧烈振动，应立即停机检查，否则若是水泵弯曲变形很有可能发生安全事故。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。分子泵叶片破碎的原因：答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：①、误操作。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

现代分子泵更是朝着智能、灵活、的方向发展。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上，使分子泵实现了电脑控制，从而实现了远距离控制泵的起动、停车及调速，同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统，使分子泵朝向智能化方向发展。

产品研发至量产的过程中，通过多项控制措施和准确，以及各种严苛的测试，根据这些测试测结果，对物理结构、控制器、控制软件、生产流程、调试方法等都进行了改进，确保终的产品性能、质量可靠，对外发布的各项数据准确可信。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。升级完成的安捷伦生产流程管理系统，和新增的大量自动化生产装配工艺和设备，保证了产品的一致性，和质量的稳定性。

1、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

2、分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

在粗真空范围的应用中，比如抽滤、固相萃取、真空干燥、旋转蒸发、真空浓缩、凝胶干燥等，VARIAN分子泵维修提供极耐化学腐蚀的高品质隔膜泵，使用寿命超长；

在中（高）真空范围的应用中，比如冷冻干燥、史兰克线、精馏等，VARIAN分子泵维修提供极高抽速（包括在接近极限真空时仍保持高抽速）主动防腐且密封性良好的旋片泵及化学杂交泵，结构紧凑噪音小，维护方便；