佛山安捷伦涡轮分子泵维修常用指南

广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦涡轮分子泵维修；

这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。振动频率为2倍工作转速,不对中，联轴器松动，密封装置摩擦，壳体变形，轴承损坏，支承共振，推力轴承损坏，轴弯曲，不良的配合处理方法：检查，采取相应措施，修理、调整或更换。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

对轴承来说，润滑是左右其性能的重要问题。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。润滑剂或润滑方式的合适与否将大大影响轴承的寿命。如果轴承用的是高品位的润滑脂在正常运行条件下可运行15000小时或两年。对电机功率大于18.5KW的水泵或在不利的条件下比如环境温度高、空气湿度大、灰尘多、侵蚀性强的工业环境应提前检查轴承，必要时可安排5000小时更换一次润滑脂。

①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

　　注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷lt;0.1Pa;自然风冷lt;0.01Pa