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发布时间:2020-07-08 17:46:00
广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修;
当M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作;
打开分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀;
.每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏;
当出现警告信息“ EF”时,VARIAN分子泵修理销售,检查冷却水通道是否畅通,并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
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在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵;
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应用程序提供了对分子泵的远程控制功能,使您可以轻松简便的和监测泵的运行状态,查看泵的参数和参数变化曲线,如功率变化曲线,真空度变化曲线(如果安装有适配的真空计),这在您设计真空系统或抽气工艺时将会非常有用。您还可以通过该应用程序导出日志文件,并保存在手机上或通过邮件、短信等,与您的同事或安捷伦技术支持团队快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通过电子表格(excel)程序打开并查看,只需点击几下屏幕,就可以方便的进行沟通,这避免反复的询问和确认,开启了一种全新的交流方式。
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由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好,珠三角VARIAN分子泵维修,因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级,抽速可以达到1000L/s,达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间,因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。
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工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
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20世纪70年代末开始,人们对真空装置提出更高的要求,VARIAN分子泵销售中心,既除了能获得高真空之外,还需要能够在排气之后导入各种各样的气体,并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求,涡轮分子泵逐渐推广普及。
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