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广州帕纳光电科技有限公司----高真空涡轮分子泵维修；

现代分子泵更是朝着智能、灵活、的方向发展。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上，使分子泵实现了电脑控制，从而实现了远距离控制泵的起动、停车及调速，同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统，使分子泵朝向智能化方向发展。

产品研发至量产的过程中，通过多项控制措施和准确，以及各种严苛的测试，根据这些测试测结果，对物理结构、控制器、控制软件、生产流程、调试方法等都进行了改进，确保终的产品性能、质量可靠，对外发布的各项数据准确可信。每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。升级完成的安捷伦生产流程管理系统，和新增的大量自动化生产装配工艺和设备，保证了产品的一致性，和质量的稳定性。

涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。同时，高真空涡轮分子泵维修无油隔膜泵也适用于所有粗真空应用，尤其是在耐化学腐蚀方面性能突出，表现优异。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。

新设计了***和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。过大的轴承间隙，轴瓦松动，油内有杂质，油质(粘度、温度)不良，因空气或工艺液体使油起泡，润滑不良，轴承损坏处理方法：检查后，采取相应措施，如调整轴承间隙，清除油中杂质，更换新油。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

轴承装配不良

处理方法：按要求检查轴承装配情况，消除不合要求因素；

冷却水断路

处理方法：检查、修理；

轴承磨损或松动

处理方法：修理轴承或报废。

若松协，复紧有关螺栓；泵轴弯曲

处理方法：矫正泵轴；

甩油环变形，甩油环不能转动，带不上油

处理方法：更新甩油环；

分子泵启动的条件：

　　①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

　　②、启动时间：

　　同时启动——小系统，防前级泵油上返。

　　延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

传动胶带不用时，应把胶带拆下，用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方，也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下，都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质，不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。胶带在使用前，须清除胶带接触面的。

把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净，并涂上机油或浸在柴油中保存。