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1912年，德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(***成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用和许多更多)

轴承瓦块刮研不合要求

处理方法：重新修理轴承瓦块或更换。

轴承间隙过小

处理方法：重新调整轴承间隙或刮研；

润滑油量不足，油质不良

处理方法：增加油量或更换润滑油；

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又***到正常，之后又下降至一定频率，再***到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态，相对较紧密封效果会好些，但过紧也是***的。一是引起静环密封因过度变形，影响密封效果；二是如果静环材质是石墨，一般较脆，过度受力极易引起碎裂；三是安装、拆卸困难，极易损坏静环。

水泵的使用除了严格按安装使用说明书进行外，还应注意两点：

一是切忌仅凭“经验”。比如水泵在出现底阀漏水时，有些机手图省事，在每次开机前，先向进口管口填些干土，再将土冲到底阀，以使底阀不漏水。此法看起来简便易行，但实不足取。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。因为当水泵开始工作时，底阀内的砂土就会随水进入泵内，磨损叶轮、泵壳和轴等，严重影响使用寿命，正确的方法应该是对底阀进行检修，确实无法修理的，更换。

总体安装注意事项

　　①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

　　②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

　　③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

　　④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。

　　⑤、确认已装入润滑油。