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ES是一种灵活的真空解决方案，具有高度稳定的真空性能，这使其非常适用于镀膜应用。依靠经过优化的回油系统，该解决方案不会出现常见于单级泵的压力波动，从而提高了产品质量，并呈现稳定的工艺效果。新ES泵的泵机构已经过改良，以获得更优的真空质量。抽吸速度即便是在低压状态下也能得到保持，使得操作压力范围得以扩大。

我用的这几天老是熄火,10分钟到1小时不等。开始显示为炬管有问题，昨天显示没冷却水，但是，经由我检查后觉得有水流动，可能压力太小，但我已经开到4Kg了！是否有管到堵塞?怎样检查?答我们的仪器也出过这样情况，后来工程师查出原因，是冷却气流量失控，流量过大，导致仪器错误报警，从而保护熄火。换了冷却气的质子流量计解决问题。所以你必须请维修工程师来检查，千万不要自己动手。

更换真空泵机油，拆卸真空泵修理缸等部件，如果叶片严重损坏，则需要更换真空泵叶片。确保关闭电机电源，并断开风扇盖。 用手转动电动机和真空泵。 如果手板不动，请从泵上拆下马达，并分别检查真空泵和马达。 如果真空泵被卡住，请维修泵（需要***技术人员进行维修和检查）

油扩散泵的维护

(1) 对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。

(2) 电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵 内的油温降到低于70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，也可以避免拆卸时人手被。

机泵一切正常运作时，冷却循环水开多少才适合？机泵在一切正常工作中时，冷却循环水打开尺寸以排水管道溫度为40℃上下。这时用力触碰排出来水有点儿溫度，制冷实际。非常是内孔密封性的冷却循环水不可以在冬季开得很大，以避免动、静环的密封环因温度低而硬底化，缺失延展性使密封性无效。EDWA*** STP-301CB1公司

离心泵抽时间时有哪些状况？运作中的泵刚开始抽时间时，会忽然传出噪声、震动，并伴随工作压力、总流量的减少和电流量减少。抽时间比较严重时，泵会产生明显震动，工作压力回零，泵中无液體搞出。EDWA*** STP-301CB1公司