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在开机后真空上不去，真空显示为ERROR，检查了分子泵和真空泵都没有问题的，不知道是什么原因?答1、显示是error，那一定应该是控制和通讯的问题吧。

4、温差有没有设定好呢，环境的温度也有关系哦。

5、也有可能是泵的问题。

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关于点火,要注意检查炬管的位置,同时注意与雾室接头处的连接不能漏气,再就是气的纯度,信号的衰减是正常的。

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抽速是分子泵的核心参数，提高转速是加大抽速为直接的方法之一，随着动平衡技术的发展，分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展，分子泵转子材料也发生了变化，可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成，这使转子的转速得到进一步提高。