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1912年，德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

-Edwa***在中国西安成立了一家新的服务中心，让支持服务离该公司在中国西北地区的客户更近一步。已建成的新设施占地面积达1860平方米，将为半导体、平板显示器、太阳能和LED领域的客户提供支持，并为客户缩短维修和周转时间，从而使他们能够减少停机，并提高业务效率。

作为真空设备行业的一员，Edwa***将会从产品研发、制定更贴近客户的方案出发，相信以客户和市场为本将是其致胜的关键。

爱德华真空泵维修一般存在以下问题

（1）泵无法启动

（2）真空泵无法达到极限真空

（3）真空泵的抽速太慢

（4）真空泵温度过高

（5）真空泵的噪音太大

（6）真空泵漏油，这需要我们修理并更换相应的配件。 维修期间应注意哪些问题？

在正常的偏置电压和发射电流下工作，若灯丝的寿命变得越来越短，这很 可能是真空度已变差，改善的办法是检查各部件的运行情况，采取有针对性的措施 进行解决，如检查真空系统的连接部位是否松动？查明原因，有的放矢，尽量提高电镜真空系统的真空度。

更换真空泵机油，拆卸真空泵修理缸等部件，如果叶片严重损坏，则需要更换真空泵叶片。确保关闭电机电源，并断开风扇盖。 用手转动电动机和真空泵。 如果手板不动，请从泵上拆下马达，并分别检查真空泵和马达。 如果真空泵被卡住，请维修泵（需要***技术人员进行维修和检查）

油扩散泵的维护

(1) 对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。

(2) 电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵 内的油温降到低于70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，也可以避免拆卸时人手被。