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更换真空泵机油，拆卸真空泵修理缸等部件，如果叶片严重损坏，则需要更换真空泵叶片。确保关闭电机电源，并断开风扇盖。 用手转动电动机和真空泵。 如果手板不动，请从泵上拆下马达，EDWA*** STP-301CB1联系方式，并分别检查真空泵和马达。 如果真空泵被卡住，请维修泵（需要***技术人员进行维修和检查）

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油扩散泵的维护

(1) 对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。

(2) 电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵 内的油温降到低于70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，EDWA*** STP-301CB1哪家好，也可以避免拆卸时人手被。

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对于用水冷却的涡轮分子泵配套的抽气系统，EDWA*** STP-301CB1，当关闭电镜的主机或分子泵的电源后，还应让循环水机继续运行l5min以上，才能关闭循环水机的电源。若冷 却循环水机没有自动装置，则应釆用人工，这样才可让泵体中的转子和轴承、电镜中的物镜和高压电源等受冷却的部位都能得到充分降温。

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循环冷却水的温度控制从以上分析可以看出，爱德华真空泵中的水环温度与软化池中的水温之间的差异是导致结垢的重要因素。 因此，增加循环水供应以提高冷却效果是大大降低结垢速度的重要保证。 因此，在循环冷却水运行过程中，有必要监测每个泵的回水温度和回水量，以确保每个泵的正常供水量和回水温度不超过40°C。 供水量可以通过阀门控制。 如果回水温度超过规定，应通过补充低温冷水或使用其他冷却和降温方法来降低软化池中软化水的温度。

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1957年，德国PFEIFFER公司的W.Becker发明了一种新型的分子泵，EDWA*** STP-301CB1公司，命名为涡轮分子泵。其结构为卧式，泵腔内装有动、静叶列，气体由位于泵***的吸气口进入，经抽气通道流至泵体两侧，被叶列压缩终由排气口排出。此涡轮分子泵转子由19级叶列组成，直径170mm，转速为16 000r/min，抽速为140L/s。

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中国是我们的一个主要市场，而且我们对这家新中心的***展现了我们对中国客户的承诺。在靠近客户群的地点提供专用服务设施意味着我们可以缩短产品的周转时间。Edwa***是一家***的真空设备、尾气处理系统和相关增值服务的开发商和制造商。其产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺；

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