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用真空计检查真空度是必要 的，但是随着真空系统的自动化，有的电镜为了降低成本，把某些真空计也省略掉 了。为了提高真空系统的可靠性，延长各部件的使用寿命，对以下各点多加留意，以便能及时发现异常情况，随时做好维护和***的措施。

也正是如此完善的***服务使Edwa***积累了大批优质，并占据了***市场较大的份额。

此外，在谈及近年来国产真空泵在技术和质量的突破是否对作为外企的Edwa***造成一定压力时，尤振威坦言，目前真空设备行业的形势可以说是百花齐放百家争鸣，各家有各家的优势，同时，国产真空行业近年来也在不断崛起，这既是机遇又是挑战。

作为真空设备行业的一员，Edwa***将会从产品研发、制定更贴近客户的方案出发，相信以客户和市场为本将是其致胜的关键。

爱德华真空泵维修一般存在以下问题

（1）泵无法启动

（2）真空泵无法达到极限真空

（3）真空泵的抽速太慢

（4）真空泵温度过高

（5）真空泵的噪音太大

（6）真空泵漏油，这需要我们修理并更换相应的配件。 维修期间应注意哪些问题？

在正常的偏置电压和发射电流下工作，若灯丝的寿命变得越来越短，这很 可能是真空度已变差，改善的办法是检查各部件的运行情况，采取有针对性的措施 进行解决，如检查真空系统的连接部位是否松动？查明原因，有的放矢，尽量提高电镜真空系统的真空度。

若电子枪、衬管、光栏和样品仓等部位的污染加快、加重，则意味着冷却循环水的冷却效果变差，有可能是冷却水的压力下降、水温上升或管道内水垢增厚，这些都会导致制冷效果不良。此时要采取相应的解决办法，如调高循环水的压力或调低水温、排除循环水通道中的堵塞滅清断却管道中的水鮮相应措施。

真空泵启动失败的原因如下。

（1）驱动电机电压不正确或过载。

（2）电动机启动器的过载保护太小或设定值太低

（3）***丝烧断。

（4）如果真空泵装有交流电动机：电动机的电容器损坏。